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半導(dǎo)體制造中的泄漏測(cè)試

更新時(shí)間：2025-08-22      點(diǎn)擊次數(shù)：56

半導(dǎo)體制造中的泄漏測(cè)試

泄漏檢測(cè)是半導(dǎo)體制造質(zhì)量控制的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，但這個(gè)過程不必繁瑣復(fù)雜。傳統(tǒng)的氦氣泄漏檢測(cè)往往意味著需要搬運(yùn)笨重的氦氣瓶、管理數(shù)米長(zhǎng)的軟管、操作復(fù)雜的設(shè)備。這些挑戰(zhàn)不僅拖慢檢測(cè)速度，還增加了出錯(cuò)風(fēng)險(xiǎn)和安全隱憂。


半導(dǎo)體制造中的泄漏測(cè)試


INFICON 推出的 SMART-Spray 無線移動(dòng)氦氣噴qiang改變了這一局面，顯著提升了泄漏檢測(cè)的效率、速度、精度和操作舒適度。改變究竟有多大？讓我們通過 SMART-Spray 與傳統(tǒng)氦氣泄漏檢測(cè)的直觀對(duì)比，清晰展現(xiàn)其革新價(jià)值。


半導(dǎo)體制造中的泄漏測(cè)試

不帶和帶SMART-Spray的泄漏檢測(cè)




傳統(tǒng)方式
v s
SMART-Spray

                                                                 半導(dǎo)體制造中的泄漏測(cè)試                                                     已關(guān)注                                                                            關(guān)注                                                               重播                                                                                                                                                            觀看更多


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    使用 SMART-Spray 之前：

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    笨重難移：大型氦氣瓶操作不便
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    牽絆叢生：長(zhǎng)而纏繞的軟管限制移動(dòng)，增加絆倒風(fēng)險(xiǎn)
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    手動(dòng)誤差：人工調(diào)節(jié)噴霧，結(jié)果易受操作員影響
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    效率低下：設(shè)置耗時(shí)，難以覆蓋所有測(cè)試點(diǎn)
    ??
    操作受限：需遠(yuǎn)程控制讀取泄漏率，噴霧位置難以靈活調(diào)整


    使用 SMART-Spray 之后：

    ?
    無線自由：告別軟管和氣瓶束縛，移動(dòng)不受拘束
    ?
    指尖掌控：設(shè)備上可直接選擇 4 種預(yù)設(shè)氦氣流量，確保測(cè)試結(jié)果穩(wěn)定一致
    ?
    實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)：內(nèi)置顯示屏清晰顯示泄漏率及設(shè)備狀態(tài)，一目了然
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    安全升級(jí)：地面無雜亂軟管，降低絆倒風(fēng)險(xiǎn)
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    空間解放：無需放置氦氣瓶，為其他操作騰出寶貴空間
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    持久續(xù)航：可重復(fù)填充、可更換的氦氣罐 (HeliCan) 搭配可充電/可更換電池，保障檢測(cè)過程無縫進(jìn)行



    為何這種對(duì)比差異至關(guān)重要？

    在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，泄漏率閾值可能低至 1×10?? mbar·L/s，精度要求jigao。SMART-Spray 確保操作員即使在擁有眾多測(cè)試點(diǎn)的復(fù)雜系統(tǒng)中，也能快速、可靠地完成泄漏測(cè)試。


    從對(duì)比中可以看出， 這不僅關(guān)乎速度提升，更是安全性、效率和易用性的全面躍升。SMART-Spray 通過減少活動(dòng)部件和簡(jiǎn)化流程，顯著降低了操作員的體力負(fù)擔(dān)和操作失誤風(fēng)險(xiǎn)。


    半導(dǎo)體制造中的泄漏測(cè)試





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